一九九七年，十一月。上海，浦东。
秋雨连绵，打在“002所”灰色的外墙上，留下一道道深色的水痕。这栋不起眼的小楼，对外挂着“和记精密仪器维修中心”的牌子。
但如果有人能通过那是三道生物指纹锁和一道视网膜扫描门，就会发现里面的空气不仅干燥，而且充满了令人窒息的绝望。
地下二层，超净实验室。
“不行！还是不行！”
一声暴躁的怒吼打破了只有风机嗡鸣声的死寂。
一位头发花白的老专家狠狠地把手中的测试报告摔在桌子上。他是光学的泰斗，平日里温文尔雅，此刻却像是一头被困在笼子里的老狮子。
“193纳米波长的氟化氩激光，物理极限就是摆在那里的！”
老专家指着显微镜下的晶圆，手指都在颤抖，“无论我们怎么调整透镜的数值孔径（NA），无论我们怎么优化光刻胶，到了130纳米这个节点，光线就像是散了架的面条，根本刻不出清晰的电路！”
这就是“衍射极限”。
它是物理学设下的一道叹息之墙。
倪光南坐在一堆废弃的图纸中间，双眼布满血丝。
他手里紧紧攥着那块从ASML二手机器上拆下来的透镜组。
“老王，再试一次……”倪光南的声音沙哑，透着一股不肯认输的倔强。
“试什么？试多少次都是一样的！”老专家摘下眼镜，痛苦地捂住脸，“倪工，我们必须承认差距。西方人搞了几十年才摸到的门槛，我们想靠这几个人、几条枪，三年就冲过去？这是违背科学规律的！”
实验室里，几十名年轻的研究员垂着头，气氛压抑得让人想哭。
他们不缺钱，陈念给的预算甚至多到花不完。
他们也不缺人，全国最好的光学、电子、机械专家都在这里。
他们缺的是一条路。
一条能绕过物理法则，通往未来的路。
“要不……”有人小声嘀咕，“咱们就按那个WTO协议，先做做低端？180纳米其实也够VCD用了……”
“放屁！”倪光南猛地抬头，眼神凶狠，“那是跪着要饭！咱们这代人跪了，以后孙子辈都站不起来！”
就在这时，气密门“嗤”的一声打开了。
陈山和陈念走了进来。
陈山穿着一件普通的夹克，手里依然盘着那对红得发紫的核桃。
他看了一眼满地的废纸，又看了看一脸颓丧的众人，脸上没有丝毫怒意，反而笑呵呵地走到饮水机旁。
“怎么？被鬼打墙拦住了？”陈山接了一杯水，轻轻晃了晃。
“陈先生，这不是鬼打墙，这是瑞利判据。”倪光南站起身，苦笑道，“我们在空气中进行光刻，空气的折射率是1。按照公式，我们已经被锁死在193纳米这个光源上了。要想更进一步，除非能造出波长更短的激光器，比如157纳米的氟气激光。但那个技术……哪怕是美国人，现在也还在实验室里摸索。”
“那就别用空气嘛。”陈山喝了一口水，语气轻松得像是在讨论晚饭吃什么。
倪光南愣了一下：“不用空气？那用什么？真空？”
“真空也不行，真空没有介质，折射率还是1。”旁边的老专家叹了口气，“陈先生，您是搞战略的，技术上的事……”
“我是不懂技术。”陈山走到实验台前，把那个装满水的纸杯放在了昂贵的光刻机镜头模型旁边。
他指了指杯子里的水。
陈山转过头，看着倪光南，“老倪，水的折射率是多少？”
倪光南下意识地回答：“纯水的折射率是1.44。”
话音刚落，倪光南的身体猛地僵住了。
就像是一道闪电，瞬间劈开了他混沌的大脑。
1.44。
公式：分辨率 = k1 * λ / NA。
如果介质的折射率从空气的1变成了水的1.44……
等效波长 = 193nm / 1.44 ≈ 134nm！
不需要研发新的光源！不需要等待那个遥不可及的157纳米激光！只要在镜头和硅片之间加一层水，现有的设备就能直接突破物理极限！
“水……”倪光南喃喃自语，瞳孔剧烈收缩，“在镜头和晶圆之间……加水？”
“疯了！这简直是疯了！”旁边的老专家惊叫起来，“电子设备最怕水！而且水会产生气泡，会污染光刻胶，高速运动下水的张力怎么解决？这在工程学上是自杀！”
“工程学的问题，只要肯砸钱，总能解决。”陈念站在一旁，淡淡地补了一刀，“但物理学的问题，砸钱也解决不了。”
陈念从公文包里拿出一份文件，那是陈山根据后世记忆整理的《关于浸没式光刻系统的可行性猜想》。
“爸说得对。”陈念把文件递给倪光南，“为什么非要死磕空气？”
倪光南颤抖着手接过文件，只看了第一页的示意图，呼吸就变得急促起来。
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