那是一个极其大胆、却又在理论上完美闭环的设计。
利用水的折射率,将193纳米的光源“欺骗”成134纳米。这不仅仅是技术的突破,这是思维维度的降维打击!
“快!快!”倪光南突然像个疯子一样大吼起来,把手里的图纸撕得粉碎,“把那台ASML的废机器抬过来!拆掉工件台!给我准备去离子水!我们要改装!”
“倪工,这可是价值千万的设备……”
“拆!出了事我负责!”倪光南一把推开阻拦的研究员。
……
凌晨四点。
实验室里一片狼藉。那台原本精密的ASML光刻机,此刻被改得面目全非。核心曝光区域被加上了一个简陋的、甚至是用玻璃胶密封的注水槽。
“注水完毕。无气泡。”
“液面稳定。”
“光源预热完成。”
所有人的心都提到了嗓子眼。
陈山依然坐在角落里,手里盘着核桃,神色平静。陈念则站在倪光南身后,目光紧锁着监视器。
“曝光。”倪光南按下了红色的按钮。
“滋——”
看不见的紫外激光穿过透镜,穿过那层清澈的去离子水,最终轰击在涂满光刻胶的硅片上。
几秒钟后。
显微镜的图像被投射到了大屏幕上。
死寂。
又是死寂。
紧接着,是一声压抑不住的抽泣。
屏幕上,那些原本在干式光刻下模糊不清、粘连在一起的线条,此刻变得根根分明,锐利如刀。
那是90纳米级别的线条。
那是全世界都在梦寐以求、却始终无法触及的精度。
“成了……”刚才那个反对最激烈的老专家,此刻跪在地上,捧着脸痛哭流涕,“真的成了……竟然真的成了……”
实验室里爆发出了雷鸣般的欢呼声。有人把帽子扔上了天,有人抱在一起跳,倪光南靠在实验台上,摘下眼镜,擦去了眼角的泪水。
这一刻,他们跨越了整整两代技术鸿沟。
当西方还在为157纳米光源焦头烂额时,中国已经拿到了通往45纳米、甚至28纳米制程的钥匙。
“安静。”
陈念的声音带着一股冷意,瞬间让沸腾的实验室冷却下来。
他走到实验台前,看着那张代表着世界最高水平的显微照片。
“把照片销毁。”陈念冷冷地说道。
“什么?”倪光南愣住了,“陈总,这是重大突破!这是我们要向国家……”
“我说了,销毁。”陈念转过身,目光扫过在场的每一个人,“这项技术,列为绝密。除了这间屋子里的人,谁也不准透露半个字。”
“为什么?”年轻的研究员不解,“我们有了这个,就不怕美国人的封锁了啊!”
“因为我们要的不仅仅是技术,我们还要产业链。”陈念拿起那张照片,用打火机点燃。
火苗跳动,映照着他那张年轻却深沉的脸。
“如果我们现在公布,ASML和尼康会立刻跟进。以他们的工业底子,半年就能造出商用机。到时候,我们依然是被卡脖子的命。”
陈念看着化为灰烬的照片,嘴角勾起一抹狡黠的弧度。
“我们要让他们觉得我们失败了。我们要让他们觉得,中国人确实像巴尔舍夫斯基说的那样,只能造衬衫。”
陈念看向倪光南:“倪老,明天写一份报告。就说实验彻底失败,193纳米无法突破。我们需要向ASML购买更多的‘报废’零件来维持低端研究。”
“我们要像一只贪婪的、却又无能的饕餮,把他们仓库里积压的那些镜头、光源、甚至是即将淘汰的生产线,全部吃进来。”
“等我们用这些‘废铁’组装出一百台浸没式光刻机,等我们的芯片铺满全世界的时候……”
陈山站起身,笑着接过了话茬:“到时候,再告诉他们。”
倪光南看着这对父子。
一个老谋深算,一个步步为营。
他突然觉得,美国人惹上这家人,真是倒了八辈子的血霉。